Mikrolinsenarrays

Prismenarray
© Fraunhofer ISC
Prismenanordnung bestehend aus 15.000 einzelnen Mikroprismen (Höhe: 30 µm, Größe: 60 µm, Teilung: 75 µm)


Mit der Zwei-Photonen-Polymerisation als einzigartige Technologie zur Herstellung beliebiger 3D-Strukturen kann das Fraunhofer ISC anwendungsspezifische Mikrolinsen-Arrays oder andere Anordnungen mikrooptischer Elemente mit Freiformflächen bereitstellen. Diese optischen Komponenten reichen von regelmäßigen Arrays aus sphärischen Linsen bis hin zu anspruchsvollen Mustern aus verschiedenen Mikrooptiken.

Mit einer extrem hohen Flexibilität im Herstellungsprozess können Mikrooptiken auf verschiedenen Substraten, z. B. Silizium, Glas, Metallen und direkt auf dem Chip realisiert werden, um eine große Vielfalt von Anwendungen zu bedienen. Die völlig freie Wahl der Geometrie in Bezug auf die einzelnen mikrooptischen Elemente sowie die Anordnung der Elemente erweitern das Spektrum der Anwendungen noch weiter. Eine Übertragung auf die Massenfertigung ist durch den Einsatz von Replikationstechnologien wie Nanoimprint möglich.

 

Linsenarray Asphäre
© Fraunhofer ISC
Große Linsenanordnung (6.500 Linsen; 15 x 10 mm², Ø = 60 µm; 150 µm pitch, ROC = 60 µm)

Vorteile
 

  • Beliebige Geometrie …
  •  … auf jeder gewünschten Position
  •  … auf (fast) jedem Substrat
  • Mehr als modernste Präzision und Oberflächenrauhigkeit

 

2PP Unterschiedliche Mikrooptiken CeSMA
© Fraunhofer ISC
Demonstration verschiedener mikrooptischer Elemente auf demselben Substrat

Kompetenzen des Fraunhofer ISC·        

  • Computerdesign von kundenspezifischen mikrooptischen Bauteilen
  • Fertigung im kleinen bis mittleren Maßstab
  • Herstellung von Masterstrukturen für Imprint-Technologien
  • Machbarkeitsstudien zu mikrooptischen Lösungen für nahezu alle Anwendungsszenarien
  • Optisches Design
  • Charakterisierung der hergestellten Komponenten

Fachinformation

»Two Photon-Polymerization«

Femtosecond laser pulses as a tool for true 3D micromachining

Artikel I Science Direct

»Heterogeneous microoptical structures with sub-micrometer precision«

Flyer I PDF

»Integrated low-cost colors sensors for LED lighting, displays and mobile devices«